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kSA XRF 在線X射線熒光膜厚測試設備

描述:kSA XRF 在線X射線熒光膜厚測試設備可以在線測量許多不同材料基底(例如:玻璃和太陽能電池組件)上的薄膜厚度。

更新時間:2022-12-28
產品型號:
廠商性質:代理商
詳情介紹
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在線X射線熒光膜厚測量儀

廠家:k-Space Associates, Inc.

型號:kSA XRF


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技術介紹

對于膜層厚度太薄的金屬薄膜和介電薄膜,光學方法測量其厚度顯得不是很可靠。kSA XRF 在線X射線熒光膜厚測試設備的推出主要就是為了解決該問題,它可以在線測量許多不同材料基底(例如:玻璃和太陽能電池組件)上的薄膜厚度。


設備詳情

• 配備保護性定制框架外殼,放置X射線源和探測器。

• 該設備橋接了輸送線,以便于設備安裝和工廠用戶對系統的訪問。

• 當 X 射線源正在使用時,會有警示燈閃爍提示。

• 配備面板的前/后邊緣光電檢測器,用于觸發設備自動啟停。

• 柜式控制器提供數據處理及存儲功能。

• 配備小型燈塔用于指示檢測情況。


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產品優勢

• 某些超薄的介電薄膜,光學方法難以測量其厚度,如低于100nm厚度薄膜;在這種情況下,kSA XRF 在線X射線熒光膜厚測試設備可以很好地測量。

• 可在多種基板上測量金屬薄膜厚度。

• 實時數據采集,檢測薄膜厚度缺陷并進行在線反饋。

• 軟件功能可定制,用戶可以依據特定要求設置。

• 檢測過程中可對質量控制進行驗證,以確保涂層厚度在公差范圍內。

• 工廠集成功能:使工廠用戶能夠將計量整合到現有系統(工廠警報、PLC、電子郵件警報等)中。

• 操作便捷,幾乎不需要額外設置,只需操作員定期進行設備校準。


工作原理

• 該系統由一個帶有高壓發生器的 X 射線管和一個 X 射線探測器系統組成。

• 其 X 射線檢測系統組合了固態探測器、放大器、脈沖高度分析儀和多通道分析儀。

• 光譜儀能量校準后,系統自動識別 X 射線光譜峰值,并收集峰值強度以進行進一步處理。

• 該工具可根據客戶的薄膜配方和測量需求測量對應的原子種類。


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軟件功能

• 使用專有的 k-Space 軟件測量,分析和存儲數據。

• 可與現有質量控制系統對接通訊。

• 利用光電檢測器的觸發器啟動和停止數據采集。

• 專為典型的玻璃和太陽能電池板輸送速度而設計。

• 全自動化,能夠與工廠自動化通信對接。

• 報警信號可便捷的自定義配置。

• 單個檢測頭可以放置在面板寬度上的任何位置,并且可選配使用多個檢測頭。

• 厚度測量范圍為 0~500 nm±1 nm,靈敏度和測量不確定度取決于被測元素。


軟件截圖




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