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新品發布!kSA XRF在線X射線熒光膜厚測量儀

 發布時間:2022-12-28 點擊量:601

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近期我司推出最新產品,kSA XRF在線X射線熒光膜厚測量儀!對于膜層厚度太薄的金屬薄膜和介電薄膜,光學方法測量其厚度顯得不是很可靠。kSA XRF在線X射線熒光膜厚測量儀的推出主要就是為了解決該問題,它可以在線測量許多不同材料基底(例如:玻璃和太陽能電池組件)上的薄膜厚度。




1.配備保護性定制框架外殼,放置 X 射線源和探測器。

2.該設備橋接了傳輸線,以便于設備安裝和工廠用戶對系統的訪問。

3.當 X 射線源正在使用時,會有警示燈閃爍提示。

4.配備面板的前/后邊緣光電檢測器,用于觸發設備自動啟停。

5.柜式控制器提供數據處理及存儲功能。

6.配備小型燈塔用于指示檢測情況。



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1.某些超薄的介電薄膜,光學方法難以測量其厚度,如低于100nm厚度薄膜;在這種情況下,kSA XRF可以很好地測量。
2.可在多種基板上測量金屬薄膜厚度。
3.實時數據采集,檢測薄膜厚度缺陷并進行在線反饋。
4.軟件功能可定制,用戶可以依據特定要求設置。
5.檢測過程中可對質量控制進行驗證,以確保涂層厚度在公差范圍內。
6.工廠集成功能:使工廠用戶能夠將設備整合到現有系統(如:工廠警報、PLC、電子郵件警報等)中。
7.操作便捷,幾乎不需要額外設置,只需操作員定期進行設備校準。





1.該系統由一個帶有高壓發生器的 X 射線管和一個 X 射線探測器系統組成。
2.其 X 射線檢測系統組合了固態探測器、放大器、脈沖高度分析儀和多通道分析儀。
3.光譜儀能量校準后,系統自動識別 X 射線光譜峰值,并收集峰值強度以進行進一步處理。
4.該工具可根據客戶的薄膜配方和測量需求測量對應的原子種類。




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1.使用專有的 k-Space 軟件測量,分析和存儲數據。
2.可與現有質量控制系統對接通訊。
3.利用光電檢測器的觸發器啟動和停止數據采集。
4.專為典型的玻璃和太陽能電池板輸送速度而設計。
5.全自動化,能夠與工廠自動化通信對接。
6.報警信號可便捷的自定義配置。
7.單個檢測頭可以放置在面板寬度上的任何位置,并且可選配使用多個檢測頭。
8.厚度測量范圍為 0~500 nm±1 nm,靈敏度和測量不確定度取決于被測元素。





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